中国光刻机什么时候能突破？光刻机在中国的发展状况如何？

“再过三年，中国就可以自行研制出一台完整的光刻设备了。”林毅夫在“2021中国公司论坛”上谈到了中国的光刻技术发展前景。

到目前为止，已经有三分之二的时间，让人忍不住想知道，华夏的光刻机技术，到底发展到了什么程度。

不过，在过去的两年里，好像还没有中国推出的光刻机的新闻。还有一年不到，中国的光刻机会像林毅夫所预言的一样，顺利面世么?

一、目前中国集成电路产业的发展状况

简单地说，光刻机是芯片制造过程中的关键一环，也是衡量一个国家是否能够真正实现“芯片自由”的关键。

而 EUA光刻机，则是目前最顶尖的光刻设备，也被称作“超紫外”，对整个芯片的制程都有很大的影响，被认为是量产 IC的关键。

据中国海关去年发布的官方数据，在2022年，中国的集成电路进口量达到了5384亿片，仅是进口额就达到了4156亿美元。

要知道，到了2022年，全球半导体市场的成交额只有5735亿美元，其中72.5%的价格，都是从中国进口的。

换言之，中国公司花巨资收购中国制造的芯片，其中约有2/3是世界上制造的，这肯定会提高其制造成本。

于是，近年来，中国这个对芯片有巨大需求的国家，就因为无法自主生产，而面临着“卡脖子”的危险。因此，必须加强技术研发，研制出自主研发的光刻机!

其实早在很久之前，就已经有一家阿斯迈集团的首席执行官，就已经做出了一个非常大胆的预言，即在接下来的15年里，中国将拥有自主研发的光刻机，从而掌握 ASML的技术。

二、光刻机在中国将会怎样发展?

众所周知，中国历来就是一个人口大国，拥有18.03%的人口，仍然是世界上最多的人口。按理说，我们国家不差人，也不差钱，为什么我们就不能研制出一台中国自己的光刻机?

所以，也有人建议，如果能从其他国家得到更多的光刻机技术，甚至可以从其他国家得到更多的技术人员。

要想制造出5 nm的晶片，只有 EUA的光刻设备才能做得到。

美国的控制软件，德国的蔡司透镜，瑞典的机械加工中心，都是各国的尖端技术。一台价值一亿两千万美元的光刻机，光是零件就有十多种。

因此，先不说会不会有哪个国家会将自己的全部技术都传授给他们，就是想要将这些技术全部传授给他们，也不知道要花多少时间。

又比如投资一大笔钱，去找那些精通光刻技术的人，这既浪费时间，又不稳定。这种办法显然行不通，如果我们真的能“高枕无忧”，那就只能靠我们自己研发出 EUA光刻机了。

三、光刻机在中国的发展状况

这两年来，国内不断传出关于光刻机研究进展的消息。在2022年的时候，我们国家的国望光电科技公司，给我们带来了一个喜讯，那就是光刻曝光技术的研究与量产，已经达到了量产的标准。

同时，华为也公布了其在光刻技术上的相关专利。而在2023年年初，哈尔滨工业大学正式发布了一项极紫外激光源、高速超精度干涉器，将光刻机在光源方面的难题，从根本上得到了解决。这两个重要的技术突破，为我们国家在深紫外光刻领域的发展奠定了坚实的基础。

此外，中芯国际在深紫外光刻工艺上取得了突破性进展，该工艺的成功，将国内光刻工艺水平提升至10 nm。

不过即便如此，在光刻机的研究上，华国依然还有很长的路要走，深紫外光刻机和欧洲最先进的光刻机相比，还是差了一大截。

EUA光刻机无论在加工平台的移动量、精度、速度等方面，都要比深紫外光刻机更胜一筹，因此， EUA光刻机在加工平台的移动量、精度、速度等方面，都要优于深紫外光刻机。而且，一旦 EUA型光刻机研制成功，我们将拥有一条完整的半导体产业链。

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